8インチウエハカセット寸法検査機

製品紹介

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1.カセットの測定面をすばやく測定(約1秒)

2.任意の場所を測定可能

3.従来の画像処理機器と比較すると低価格

詳細スペック
項目 仕様 備考
対応カセット 8インチウエハカセット
重量 約20kg
外形 420(幅)x420(奥行)x1200(高)
動力 AC100V
お問い合せ

上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。

パラレルインデックスユニット

製品紹介

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1.超小型(60x85x44mm) <外径図>
2.停止時において、出力軸はセルフロックする
3.停止時において、出力軸はセルフロックする
4.一般のブレーキ付き交流モータで確実な割り出しが可能
(レバーシブルモータ、無励磁動作型ブレーキモータ及びボールネジ等を利用したピッチ位置決めテーブル)

詳細スペック
項目 仕様 備考
割出数 4 (90度割出)
本体サイズ(mm) 60×85×44
入力軸(mm) φ8 アイドル角度100°
出力軸(mm) φ10 セルフロック
使用カム曲線 変形正弦曲線
お問い合せ先

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2014年7月3日 | カテゴリー :

レチクル検査機

製品紹介
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1.スリムであるため、工場の空いた隙間に入れることができ、フロアの有効活用が出来ます
2.レチクルのパーティクル検査およびレチクル洗浄&レチクルケースの洗浄が可能です

詳細スペック
項目 仕様 備考
対応レチクル NSR用 5インチ
ケース NSR用 レチクルケース
検査方法 目視
検査角度(両面) 40度 (微調整可) キー操作にてJOG送り
エアーシャワー(洗浄) レチクル(両面) ケース(内部)
設置面積 500(幅)x1100(奥行)x1500(高) 投光器を除く
電源 AC100V
乾空 5Kg/cm2
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2014年7月3日 | カテゴリー :

8インチウエハ移載機

製品紹介
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1.中央カセット(26枚カセット)と右側カセット(モニタカセット)の間で、相互一枚移し替えが可能です
2.左側カセット(25枚カセット)と中央カセット(26枚カセット)の間で、ウエハ25枚の相互一括入替えが可能です
3.1,2の動作モードを組み合わせて動作させることが可能です
4.各入替え作業が1分以内に終わるため、ロボットによる作業よりも効率的、かつ、経済的です

詳細スペック
項目 仕様 備考
各移替え作業時間 1分以内
消費電力 0.5kw
外見寸法 1250(W)X850(D)X1550(H)
総重量 100kg
動力 AC100V
対応動作環境 CLASS1
対象カセット 左側 Peekカセット 25枚用
中央 Peekカセット 26枚用 ウエハは一枚以上入れている事
右側 New PPカセット 25枚用
動作モード 一括移載
シングル移載
混合移載
構成要素 本体部
架台
テーブルユニット カセットを左右に移動する
一括突き上げユニット 25枚単位でカセットに対して突き上げ収納を行う
一括チャックユニット 25枚まとめてチャックを行う
シングル抜き取りユニット 奥より最初のウエハーを一枚のみ突き上げ収納を行う
制御ユニット
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8インチウエハ一括移載機

製品紹介

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ウエハをカセットからカセットへ一括して移し替える事が可能

詳細スペック
項目 仕様 備考
目的 カセットからカセットへ
対象カセット PPカセット
カセットサイズ 8インチ
駆動力 AC100V
移載時間 40秒
機械の大きさ 950(横)x1060(高さ)x950(奥行き)
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FOSBオープナー

製品紹介
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フットプリントが 590×660mm と小さく、また、パーマネントリザーブ領域が100mmとなっておりSEMI規格に準じている唯一の装置です。

詳細スペック
項目 仕様 備考
適用キャリア 300mmFOSB 柿崎製、信越ポリマー製 対応
開閉時間 25秒
サイズ 590×660×1400
消費電力 0.5kw
総重量 130kg
仕様動力 AC100V
安全装置 各種対応
運転方法 リモート or スタンドアロン 通信はDIO
光伝送装置 オプション
バーコード読み取り装置 オプション
パーマネントリザーブ領域 100mm
設置環境 Class5以上 ISO-14644-1
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スタック式ウエハローダ

 製品紹介

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1.数百枚に重なったウエハをノンストップで搬送することが可能で、非常に高速

2.マガジン式のウエハローダーが必要だったカセットへの重点作業を省くことが出来る

3.フットプリントが500×500mmと小さく、クリーンルームのスペースを有効に活用することが出来る

詳細スペック
項目 仕様 備考
対応ウエハ 125mm×125mm、150mm×150mm
搬送速度 1.0~1.5秒/枚(設定可)
本体サイズ 500(幅)x500(奥行)x1000mm(高)
電源 AC100V
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薄厚ウエハ対応真空ピンセット

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製品紹介

1.新方式ベルヌーイ吸着により、薄型でソリなどの変形が大きいウエハに有効

2.一般的な真空チャックに対しての利点

→対象物がピンセットに吸着されるので、吸着合わせが楽

→吸着のためにウエハ面にピンセットを押しつける必要がない

3.一般的なベルヌーイチャックに対しての利点

→ウエハ位置ズレ防止のためのガイドが不要

→エアーの垂れ流しが無いため、経済的かつゴミのまき散らしが少ない

4.ピンセットの外径(25mm(吸着部の幅)×2.5mm(吸着部の厚み)×237mm(全長))がコンパクトである。

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詳細スペック
項目 仕様 備考
対応ウエハサイズ 8インチまで
ピンセット外径 25(幅) × 2.5(厚み) × 237(全長)mm 反転移載
吸着方式 新方式ベルヌーイ吸着 上面 or 下面吸着
備考

当紹介ページの製品は接触式タイプです

お問い合せ先

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薄厚ウエハ対応移載機

 製品紹介
thin-transfer-BIG

当社の開発した新方式ベルヌーイ吸着(特許取得済み)により、近年普及し始めた薄厚ウエハを安全に、かつ、素早くカセットからカセットへ移載する事が可能となります。

詳細スペック
項目 仕様 備考
対応カセット 8インチ 2カセット対応
移載方式 枚葉式 反転移載
吸着方式 新方式ベルヌーイ吸着 上面 or 下面吸着
設置面積 800 × 780

 

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