薄厚ウエハ対応移載機

 製品紹介
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当社の開発した新方式ベルヌーイ吸着(特許取得済み)により、近年普及し始めた薄厚ウエハを安全に、かつ、素早くカセットからカセットへ移載する事が可能となります。

詳細スペック
項目 仕様 備考
対応カセット 8インチ 2カセット対応
移載方式 枚葉式 反転移載
吸着方式 新方式ベルヌーイ吸着 上面 or 下面吸着
設置面積 800 × 780

 

お問い合せ

上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。