製品紹介
１．数百枚に重なったウエハをノンストップで搬送することが可能で、非常に高速
２．マガジン式のウエハローダーが必要だったカセットへの重点作業を省くことが出来る
３．フットプリントが500×500mmと小さく、クリーンルームのスペースを有効に活用することが出来る
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 対応ウエハ | 125mm×125mm、150mm×150mm | |
| 搬送速度 | 1.0～1.5秒/枚（設定可) | |
| 本体サイズ | 500(幅)x500(奥行)x1000mm(高) | |
| 電源 | AC100V |
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