薄厚ウエハ対応真空ピンセット

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製品紹介

1.新方式ベルヌーイ吸着により、薄型でソリなどの変形が大きいウエハに有効

2.一般的な真空チャックに対しての利点

→対象物がピンセットに吸着されるので、吸着合わせが楽

→吸着のためにウエハ面にピンセットを押しつける必要がない

3.一般的なベルヌーイチャックに対しての利点

→ウエハ位置ズレ防止のためのガイドが不要

→エアーの垂れ流しが無いため、経済的かつゴミのまき散らしが少ない

4.ピンセットの外径(25mm(吸着部の幅)×2.5mm(吸着部の厚み)×237mm(全長))がコンパクトである。

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詳細スペック
項目 仕様 備考
対応ウエハサイズ 8インチまで
ピンセット外径 25(幅) × 2.5(厚み) × 237(全長)mm 反転移載
吸着方式 新方式ベルヌーイ吸着 上面 or 下面吸着
備考

当紹介ページの製品は接触式タイプです

お問い合せ先

上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。

 

薄厚ウエハ対応移載機

 製品紹介
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当社の開発した新方式ベルヌーイ吸着(特許取得済み)により、近年普及し始めた薄厚ウエハを安全に、かつ、素早くカセットからカセットへ移載する事が可能となります。

詳細スペック
項目 仕様 備考
対応カセット 8インチ 2カセット対応
移載方式 枚葉式 反転移載
吸着方式 新方式ベルヌーイ吸着 上面 or 下面吸着
設置面積 800 × 780

 

お問い合せ

上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。