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製品紹介
フットプリントが 590×660 と小さく、また、パーマネントリザーブ領域が100mmとなっておりSEMI規格に準じている唯一の装置です。
詳細スペック
項目
仕様
備考
適用キャリア
300mmFOSB
柿崎製、信越ポリマー製 対応
開閉時間
25秒
サイズ
590×660×1400
消費電力
0.5kw
総重量
130kg
仕様動力
AC100V
安全装置
各種対応
運転方法
リモート or スタンドアロン
通信はDIO
光伝送装置
オプション
バーコード読み取り装置
オプション
パーマネントリザーブ領域
100mm
設置環境
Class5以上
ISO-14644-1
お問い合せ先
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