開発製品一覧 > レチクル検査機
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製品紹介
| １． | スリムであるため、工場の空いた隙間に入れることができ、フロアの有効活用が出来ます |
| ２． | レチクルのパーティクル検査およびレチクル洗浄＆レチクルケースの洗浄が可能です |
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
| 対応レチクル | NSR用 5インチ | |
| ケース | NSR用 レチクルケース | |
| 検査方法 | 目視 | |
| 検査角度(両面) | 40度 （微調整可） | キー操作にてJOG送り |
| エアーシャワー(洗浄) | レチクル(両面) ケース(内部) | |
| 設置面積 | 500(幅)x1100(奥行)x1500(高) | 投光器を除く |
| 電源 | AC100V | |
| 乾空 | 5Kg/cm2 |