開発製品一覧 > スタック式ウエハローダ
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製品紹介
| １． | 数百枚に重なったウエハをノンストップで搬送する事が可能であり、非常に高速です。 |
| ２． | マガジン式のウエハローダーで必要だったカセットへの充填作業を省くことが出来ます。 |
| ３． | フットプリントが500×500mmと小さく、クリーンルームのスペースを有効に活用する事が出来ます。 |
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
| 対応ウエハ | 125mm×125mm、150mm×150mm | |
| 搬送速度 | 1.0〜1.5秒/枚（設定可) | |
| 本体サイズ | 500(幅)x500(奥行)x1000mm(高) | |
| 電源 | AC100V |