製品紹介

１．	新方式ベルヌーイ吸着（特許出願済み）により、薄型で「ソリ」などの変形が大きいウエハに有効です
２．	一般的な真空チャックに対しての利点
	→	対象物がピンセットに吸引されるので、吸着合わせが楽になります
	→	吸着のためにウエハ面にピンセットを押しつける必要がありません（吸着ミスによるキズの心配がない）
３．	一般的なベルヌーイチャックに対しての利点
	→	ウエハ位置ズレ防止の為のガイドが不要になります
	→	エアーの垂れ流しが無いため、経済的かつゴミの巻き散らしが少なくなります
４．	コンパクト
	→	ピンセットの外形　25mm(吸着部の幅)×2.5mm(吸着部の厚み)×237mm(全長)

詳細スペック

項目	仕様	備考
対応ウエハサイズ	８インチまで
ピンセット外径	25(幅) × 2.5(厚み) × 237(全長)mm	反転移載
吸着方式	新方式ベルヌーイ吸着	上面 or 下面吸着

備考

当紹介ページの製品は接触式タイプです

お問い合せ先

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