製品紹介

当社の開発した新方式ベルヌーイ吸着（特許出願済み）により、近年普及し始めた薄厚ウエハを安全に、かつ、素早く カセットからカセットへ移載する事が可能となります。

詳細スペック

項目	仕様	備考
対応カセット	８インチ	２カセット対応
移載方式	枚葉式	反転移載
吸着方式	新方式ベルヌーイ吸着	上面 or 下面吸着
設置面積	800 × 780

お問い合せ先

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