製品紹介
１．カセットの測定面をすばやく測定（約１秒）
２．任意の場所を測定可能
３．従来の画像処理機器と比較すると低価格
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
| 対応カセット | ８インチウエハカセット | |
| 重量 | 約20kg | |
| 外形 | 420(幅)x420(奥行)x1200(高) | |
| 動力 | AC100V |
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上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。
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パラレルインデックスユニット
レチクル検査機
製品紹介
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１．スリムであるため、工場の空いた隙間に入れることができ、フロアの有効活用が出来ます
２．レチクルのパーティクル検査およびレチクル洗浄＆レチクルケースの洗浄が可能です
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
| 対応レチクル | NSR用 5インチ | |
| ケース | NSR用 レチクルケース | |
| 検査方法 | 目視 | |
| 検査角度(両面) | 40度 （微調整可） | キー操作にてJOG送り |
| エアーシャワー(洗浄) | レチクル(両面) ケース(内部) | |
| 設置面積 | 500(幅)x1100(奥行)x1500(高) | 投光器を除く |
| 電源 | AC100V | |
| 乾空 | 5Kg/cm2 |
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8インチウエハ移載機
製品紹介
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１．中央カセット（２６枚カセット）と右側カセット（モニタカセット）の間で、相互一枚移し替えが可能です
２．左側カセット（２５枚カセット）と中央カセット（２６枚カセット）の間で、ウエハ25枚の相互一括入替えが可能です
３．１，２の動作モードを組み合わせて動作させることが可能です
４．各入替え作業が1分以内に終わるため、ロボットによる作業よりも効率的、かつ、経済的です
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 各移替え作業時間 | 1分以内 | |
| 消費電力 | 0.5kw | |
| 外見寸法 | 1250(W)X850(D)X1550(H) | |
| 総重量 | 100kg | |
| 動力 | AC100V | |
| 対応動作環境 | CLASS1 | |
| 対象カセット | 左側 Peekカセット 25枚用 | |
| 中央 Peekカセット 26枚用 | ウエハは一枚以上入れている事 | |
| 右側 New PPカセット 25枚用 | ||
| 動作モード | 一括移載 | |
| シングル移載 | ||
| 混合移載 | ||
| 構成要素 | 本体部 | |
| 架台 | ||
| テーブルユニット | カセットを左右に移動する | |
| 一括突き上げユニット | 25枚単位でカセットに対して突き上げ収納を行う | |
| 一括チャックユニット | 25枚まとめてチャックを行う | |
| シングル抜き取りユニット | 奥より最初のウエハーを一枚のみ突き上げ収納を行う | |
| 制御ユニット |
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8インチウエハ一括移載機
製品紹介
ウエハをカセットからカセットへ一括して移し替える事が可能
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 目的 | カセットからカセットへ | |
| 対象カセット | PPカセット | |
| カセットサイズ | 8インチ | |
| 駆動力 | AC100V | |
| 移載時間 | 40秒 | |
| 機械の大きさ | 950(横)x1060(高さ)x950(奥行き) |
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検査用アライナー
FOSBオープナー
製品紹介
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フットプリントが 590×660mm と小さく、また、パーマネントリザーブ領域が100mmとなっておりSEMI規格に準じている唯一の装置です。
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 適用キャリア | 300mmFOSB | 柿崎製、信越ポリマー製 対応 |
| 開閉時間 | 25秒 | |
| サイズ | 590×660×1400 | |
| 消費電力 | 0.5kw | |
| 総重量 | 130kg | |
| 仕様動力 | AC100V | |
| 安全装置 | 各種対応 | |
| 運転方法 | リモート or スタンドアロン | 通信はDIO |
| 光伝送装置 | オプション | |
| バーコード読み取り装置 | オプション | |
| パーマネントリザーブ領域 | 100mm | |
| 設置環境 | Class5以上 | ISO-14644-1 |
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スタック式ウエハローダ
製品紹介
１．数百枚に重なったウエハをノンストップで搬送することが可能で、非常に高速
２．マガジン式のウエハローダーが必要だったカセットへの重点作業を省くことが出来る
３．フットプリントが500×500mmと小さく、クリーンルームのスペースを有効に活用することが出来る
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 対応ウエハ | 125mm×125mm、150mm×150mm | |
| 搬送速度 | 1.0～1.5秒/枚（設定可) | |
| 本体サイズ | 500(幅)x500(奥行)x1000mm(高) | |
| 電源 | AC100V |
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薄厚ウエハ対応真空ピンセット
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製品紹介
１．新方式ベルヌーイ吸着により、薄型でソリなどの変形が大きいウエハに有効
２．一般的な真空チャックに対しての利点
→対象物がピンセットに吸着されるので、吸着合わせが楽
→吸着のためにウエハ面にピンセットを押しつける必要がない
３．一般的なベルヌーイチャックに対しての利点
→ウエハ位置ズレ防止のためのガイドが不要
→エアーの垂れ流しが無いため、経済的かつゴミのまき散らしが少ない
４．ピンセットの外径(25mm(吸着部の幅)×2.5mm(吸着部の厚み)×237mm(全長))がコンパクトである。
| abc | defg |
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 対応ウエハサイズ | ８インチまで | |
| ピンセット外径 | 25(幅) × 2.5(厚み) × 237(全長)mm | 反転移載 |
| 吸着方式 | 新方式ベルヌーイ吸着 | 上面 or 下面吸着 |
備考
当紹介ページの製品は接触式タイプです
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薄厚ウエハ対応移載機
製品紹介
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当社の開発した新方式ベルヌーイ吸着（特許取得済み）により、近年普及し始めた薄厚ウエハを安全に、かつ、素早くカセットからカセットへ移載する事が可能となります。
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 対応カセット | ８インチ | ２カセット対応 |
| 移載方式 | 枚葉式 | 反転移載 |
| 吸着方式 | 新方式ベルヌーイ吸着 | 上面 or 下面吸着 |
| 設置面積 | 800 × 780 |
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