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製品紹介
１．新方式ベルヌーイ吸着により、薄型でソリなどの変形が大きいウエハに有効
２．一般的な真空チャックに対しての利点
→対象物がピンセットに吸着されるので、吸着合わせが楽
→吸着のためにウエハ面にピンセットを押しつける必要がない
３．一般的なベルヌーイチャックに対しての利点
→ウエハ位置ズレ防止のためのガイドが不要
→エアーの垂れ流しが無いため、経済的かつゴミのまき散らしが少ない
４．ピンセットの外径(25mm(吸着部の幅)×2.5mm(吸着部の厚み)×237mm(全長))がコンパクトである。
| abc | defg |
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 対応ウエハサイズ | ８インチまで | |
| ピンセット外径 | 25(幅) × 2.5(厚み) × 237(全長)mm | 反転移載 |
| 吸着方式 | 新方式ベルヌーイ吸着 | 上面 or 下面吸着 |
備考
当紹介ページの製品は接触式タイプです
お問い合せ先
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