製品紹介
当社の開発した新方式ベルヌーイ吸着(特許取得済み)により、近年普及し始めた薄厚ウエハを安全に、かつ、素早くカセットからカセットへ移載する事が可能となります。
詳細スペック
項目 | 仕様 | 備考 |
---|---|---|
対応カセット | 8インチ | 2カセット対応 |
移載方式 | 枚葉式 | 反転移載 |
吸着方式 | 新方式ベルヌーイ吸着 | 上面 or 下面吸着 |
設置面積 | 800 × 780 |
お問い合せ
上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。
TEL.096-294-2809
〒869-1236 熊本県菊池郡大津町杉水3329-4
当社の開発した新方式ベルヌーイ吸着(特許取得済み)により、近年普及し始めた薄厚ウエハを安全に、かつ、素早くカセットからカセットへ移載する事が可能となります。
項目 | 仕様 | 備考 |
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対応カセット | 8インチ | 2カセット対応 |
移載方式 | 枚葉式 | 反転移載 |
吸着方式 | 新方式ベルヌーイ吸着 | 上面 or 下面吸着 |
設置面積 | 800 × 780 |
上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。