製品紹介
フットプリントが 590×660mm と小さく、また、パーマネントリザーブ領域が100mmとなっておりSEMI規格に準じている唯一の装置です。
詳細スペック
項目 | 仕様 | 備考 |
---|---|---|
適用キャリア | 300mmFOSB | 柿崎製、信越ポリマー製 対応 |
開閉時間 | 25秒 | |
サイズ | 590×660×1400 | |
消費電力 | 0.5kw | |
総重量 | 130kg | |
仕様動力 | AC100V | |
安全装置 | 各種対応 | |
運転方法 | リモート or スタンドアロン | 通信はDIO |
光伝送装置 | オプション | |
バーコード読み取り装置 | オプション | |
パーマネントリザーブ領域 | 100mm | |
設置環境 | Class5以上 | ISO-14644-1 |
お問い合せ
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