製品紹介
１．カセットの測定面をすばやく測定（約１秒）
２．任意の場所を測定可能
３．従来の画像処理機器と比較すると低価格
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
| 対応カセット | ８インチウエハカセット | |
| 重量 | 約20kg | |
| 外形 | 420(幅)x420(奥行)x1200(高) | |
| 動力 | AC100V |
お問い合せ
上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。
アーカイブ
パラレルインデックスユニット
レチクル検査機
製品紹介
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１．スリムであるため、工場の空いた隙間に入れることができ、フロアの有効活用が出来ます
２．レチクルのパーティクル検査およびレチクル洗浄＆レチクルケースの洗浄が可能です
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
| 対応レチクル | NSR用 5インチ | |
| ケース | NSR用 レチクルケース | |
| 検査方法 | 目視 | |
| 検査角度(両面) | 40度 （微調整可） | キー操作にてJOG送り |
| エアーシャワー(洗浄) | レチクル(両面) ケース(内部) | |
| 設置面積 | 500(幅)x1100(奥行)x1500(高) | 投光器を除く |
| 電源 | AC100V | |
| 乾空 | 5Kg/cm2 |
お問い合せ
上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。
検査用アライナー
薄厚ウエハ対応真空ピンセット
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製品紹介
１．新方式ベルヌーイ吸着により、薄型でソリなどの変形が大きいウエハに有効
２．一般的な真空チャックに対しての利点
→対象物がピンセットに吸着されるので、吸着合わせが楽
→吸着のためにウエハ面にピンセットを押しつける必要がない
３．一般的なベルヌーイチャックに対しての利点
→ウエハ位置ズレ防止のためのガイドが不要
→エアーの垂れ流しが無いため、経済的かつゴミのまき散らしが少ない
４．ピンセットの外径(25mm(吸着部の幅)×2.5mm(吸着部の厚み)×237mm(全長))がコンパクトである。
| abc | defg |
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 対応ウエハサイズ | ８インチまで | |
| ピンセット外径 | 25(幅) × 2.5(厚み) × 237(全長)mm | 反転移載 |
| 吸着方式 | 新方式ベルヌーイ吸着 | 上面 or 下面吸着 |
備考
当紹介ページの製品は接触式タイプです
お問い合せ先
上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。