製品紹介

１．数百枚に重なったウエハをノンストップで搬送することが可能で、非常に高速

２．マガジン式のウエハローダーが必要だったカセットへの重点作業を省くことが出来る

３．フットプリントが500×500mmと小さく、クリーンルームのスペースを有効に活用することが出来る

詳細スペック

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