製品紹介
１．カセットの測定面をすばやく測定（約１秒）
２．任意の場所を測定可能
３．従来の画像処理機器と比較すると低価格
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
| 対応カセット | ８インチウエハカセット | |
| 重量 | 約20kg | |
| 外形 | 420(幅)x420(奥行)x1200(高) | |
| 動力 | AC100V |
お問い合せ
上記仕様以外も対応できます。ご相談の際は<こちらまで>ご連絡ください。
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8インチウエハ移載機
製品紹介
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１．中央カセット（２６枚カセット）と右側カセット（モニタカセット）の間で、相互一枚移し替えが可能です
２．左側カセット（２５枚カセット）と中央カセット（２６枚カセット）の間で、ウエハ25枚の相互一括入替えが可能です
３．１，２の動作モードを組み合わせて動作させることが可能です
４．各入替え作業が1分以内に終わるため、ロボットによる作業よりも効率的、かつ、経済的です
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 各移替え作業時間 | 1分以内 | |
| 消費電力 | 0.5kw | |
| 外見寸法 | 1250(W)X850(D)X1550(H) | |
| 総重量 | 100kg | |
| 動力 | AC100V | |
| 対応動作環境 | CLASS1 | |
| 対象カセット | 左側 Peekカセット 25枚用 | |
| 中央 Peekカセット 26枚用 | ウエハは一枚以上入れている事 | |
| 右側 New PPカセット 25枚用 | ||
| 動作モード | 一括移載 | |
| シングル移載 | ||
| 混合移載 | ||
| 構成要素 | 本体部 | |
| 架台 | ||
| テーブルユニット | カセットを左右に移動する | |
| 一括突き上げユニット | 25枚単位でカセットに対して突き上げ収納を行う | |
| 一括チャックユニット | 25枚まとめてチャックを行う | |
| シングル抜き取りユニット | 奥より最初のウエハーを一枚のみ突き上げ収納を行う | |
| 制御ユニット |
お問い合せ
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8インチウエハ一括移載機
製品紹介
ウエハをカセットからカセットへ一括して移し替える事が可能
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 目的 | カセットからカセットへ | |
| 対象カセット | PPカセット | |
| カセットサイズ | 8インチ | |
| 駆動力 | AC100V | |
| 移載時間 | 40秒 | |
| 機械の大きさ | 950(横)x1060(高さ)x950(奥行き) |
お問い合せ
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検査用アライナー
薄厚ウエハ対応真空ピンセット
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製品紹介
１．新方式ベルヌーイ吸着により、薄型でソリなどの変形が大きいウエハに有効
２．一般的な真空チャックに対しての利点
→対象物がピンセットに吸着されるので、吸着合わせが楽
→吸着のためにウエハ面にピンセットを押しつける必要がない
３．一般的なベルヌーイチャックに対しての利点
→ウエハ位置ズレ防止のためのガイドが不要
→エアーの垂れ流しが無いため、経済的かつゴミのまき散らしが少ない
４．ピンセットの外径(25mm(吸着部の幅)×2.5mm(吸着部の厚み)×237mm(全長))がコンパクトである。
| abc | defg |
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 対応ウエハサイズ | ８インチまで | |
| ピンセット外径 | 25(幅) × 2.5(厚み) × 237(全長)mm | 反転移載 |
| 吸着方式 | 新方式ベルヌーイ吸着 | 上面 or 下面吸着 |
備考
当紹介ページの製品は接触式タイプです
お問い合せ先
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薄厚ウエハ対応移載機
製品紹介
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当社の開発した新方式ベルヌーイ吸着（特許取得済み）により、近年普及し始めた薄厚ウエハを安全に、かつ、素早くカセットからカセットへ移載する事が可能となります。
詳細スペック
| 項目 | 仕様 | 備考 |
|---|---|---|
| 対応カセット | ８インチ | ２カセット対応 |
| 移載方式 | 枚葉式 | 反転移載 |
| 吸着方式 | 新方式ベルヌーイ吸着 | 上面 or 下面吸着 |
| 設置面積 | 800 × 780 |
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