2010/3に新規導入したSVA600Aです。

東京精密で取り扱っている３D測定器の中でも、最上位機種にあたり、カールツァイス製の制御コントローラ及びソフトウエアを搭載しております。

カタログ値
　測定範囲：XY 650×500 Z 450
　測定精度（誤差）：2.2μm

当社実績値
　測定精度（誤差）：1.0μm以下